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水洗式尾氣處理設備

產品用途:水洗式尾氣處理設備(Wet SCRUBBER)是一個專門處理現(xiàn)場各種制程廢氣的系統(tǒng),在水溶解的過程中,將制程所產生的廢氣,反應成溶解于水中的物質,再經(jīng)由另一道程序而排放至廠務處理系統(tǒng),所處理的廢氣,包含大部份半導體廠所使用的特殊氣體,維修保養(yǎng)的頻率少且時間短,不會影響生產的時程。
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